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石英砂纯度检测(石英二氧化硅检测)

发布时间: 2025-12-29 10:30 更新时间: 2026-01-12 10:00

石英砂的纯度并非单一概念,而是一个涵盖 “二氧化硅含量”、“关键杂质元素限量” 和 “结构缺陷” 的综合性体系。


检测的核心维度

化学纯度:以 二氧化硅 含量为标志,并严格限制特定杂质元素。


痕量杂质谱:对数十种ppm至ppb级的有害元素进行极限管控。


矿物学纯度:确定其中除石英外的其他矿物种类和含量。


物理与结构缺陷:检查包裹体、气泡和晶格缺陷。


核心检测项目与方法详解

(一) 二氧化硅主含量测定

1. 经典化学法(重量法 - 仲裁金标准)


原理:挥发法。


步骤:


样品经碱熔(碳酸钠或氢氧化钠)或酸溶(-)预处理,使硅转化为可溶性硅酸。


经蒸干脱水,使硅酸凝聚。


加入动物胶或聚环氧乙烷使硅酸进一步凝聚析出。


过滤、灼烧(950-1000°C)至恒重,得到二氧化硅。


为进一步jingque,滤液中的少量残留硅可用光度法回收,加入主量中。


优点:精度无与伦比,是标准物质定值和贸易仲裁的zhongji依据。


缺点:流程极其繁琐、耗时(完成一个样需1-2天),对操作者技能要求极高。


2. X射线荧光光谱法(主流快速方法)


原理:测量样品中硅元素的特征X射线强度,通过标准样品校准,直接计算出SiO₂含量。


关键要求:必须采用熔片法。将样品与硼酸盐熔剂(如四硼酸锂)高温熔融成均匀玻璃片,以彻底消除矿物效应和粒度效应。


优点:快速(几分钟)、精度高(满足绝大多数工业要求)、可同时测定其他元素。


缺点:依赖标准样品,设备昂贵。对于纯度>99.9%的样品,校准曲线的建立要求极高。


3. 差减法(用于超高纯石英砂)


原理:不直接测量高含量的SiO₂,而是用超高灵敏度方法(如ICP-MS)测定所有杂质元素的总量。


计算:SiO₂纯度 ≈ - Σ(所有杂质氧化物含量)


前提:要求杂质分析方法的检出限必须极低且覆盖全面,任何未被检出的杂质都会导致纯度结果虚高。这是评价4N(99.99%)以上纯度的常用逻辑。


(二) 关键杂质元素分析(决定品级的核心)

根据应用领域,对杂质的限制天差地别:


铝、铁、钛、钙、镁、钾、钠:


来源:长石、云母、粘土矿物、表面污染。


影响:降低熔点、影响电性能、导致玻璃着色(Fe, Ti)、产生气泡。


测定方法:


XRF熔片法:快速测定主次量杂质(>100ppm)。


ICP-OES:jingque测定中低含量杂质(ppm级)。


ICP-MS:测定痕量级杂质(ppb级)。


硼、磷:


特殊危害:在半导体和光伏应用中,B和P是“致命杂质”,会严重改变硅材料的电学性能。


测定方法:ICP-MS(动态反应池模式) 是shouxuan,灵敏度可达ppb级。也可用分光光度法等专门方法。


锂、铀、钍:


特殊危害:放射性元素,影响半导体器件的软错误率和长期稳定性。


测定方法:ICP-MS,灵敏度Zui高。也可用中子活化分析。


羟基:


来源:存在于石英晶格中或流体包裹体内。


影响:降低紫外透光率,高温下产生气泡。


测定方法:傅里叶变换红外光谱,通过测量约3600 cm⁻¹处的吸收峰强度定量。


(三) 矿物组成与物相分析

目的:化学分析给出元素总量,但必须知道这些元素存在于什么矿物中(如铝是在长石中还是在粘土中)。


方法:X射线衍射分析。


作用:鉴定石英砂中除石英外的长石、云母、方解石、锐钛矿等杂质矿物,并进行半定量。这是评估石英砂可选性(能否通过物理方法提纯)的重要依据。


(四) 包裹体与结构缺陷分析

目的:微观包裹体是Zui顽固的杂质来源,物理选矿无法去除。


方法:


高温显微镜:将砂粒加热至熔融,观察气泡和杂质释放行为。


扫描电镜/电子探针:观察单个石英颗粒中的固态、液态包裹体,并分析其成分。


阴极发光:揭示石英的成因和生长环带,显示杂质分布。


(五) 物理性能相关检测

粒度与形貌:激光粒度仪、扫描电镜。


白度:白度计。


酸耗值:衡量可溶性碱性杂质的含量。


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